產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

QPVH/QPV系列隔膜閥，專為需要高精度、高純度及嚴(yán)苛工作環(huán)境的應(yīng)用場(chǎng)景設(shè)計(jì)。該系列閥門采用獨(dú)特的膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了超低漏率與長(zhǎng)壽命的完美結(jié)合，同時(shí)具備快速響應(yīng)能力，可靈活應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜控制需求。特別適用于原子層沉積（ALD）工藝，能夠精細(xì)控制氣體用量，確保工藝的穩(wěn)定性和精確度。同時(shí)由我司自主研發(fā)設(shè)計(jì)制造的QPVH/QPV系列隔膜閥成功認(rèn)證通過(guò)了國(guó)內(nèi)首臺(tái)（套）認(rèn)定，標(biāo)志著我司在世界領(lǐng)先超潔凈閥門技術(shù)領(lǐng)域取得重大突破，突破國(guó)際技術(shù)壁壘并成為國(guó)內(nèi)首個(gè)使用原子層沉積（ALD）工藝生產(chǎn)并投入制造的廠家，為國(guó)產(chǎn)芯片全產(chǎn)業(yè)鏈自主研發(fā)工藝提供了強(qiáng)有力的保障。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

一：快速響應(yīng)與超長(zhǎng)使用壽命：QPV/QPVH系列隔膜閥采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)，響應(yīng)時(shí)間低至20ms，并且確保在快速響應(yīng)的同時(shí)，擁有超長(zhǎng)的使用壽命。這得益于其優(yōu)質(zhì)的膜片材料和優(yōu)化的密封結(jié)構(gòu)，即使在高頻次操作下也能保持穩(wěn)定的性能；

二：耐高溫執(zhí)行器：為滿足不同工藝對(duì)溫度的特殊要求，該系列閥門可選配耐高溫執(zhí)行器，確保在高溫環(huán)境下仍能正常工作，拓寬了應(yīng)用范圍；

三：嚴(yán)格的泄漏測(cè)試：每臺(tái)QPV/QPVH系列隔膜閥均經(jīng)過(guò)單獨(dú)的氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試，確保內(nèi)漏率和外漏率均達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平（≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He），為客戶帶來(lái)生產(chǎn)提高以及產(chǎn)品質(zhì)量保證；

四：靈活的連接選項(xiàng)：提供模塊化表面安裝、卡套管對(duì)焊和UCR^®端接等多種連接方式，方便用戶根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇和安裝，提升了系統(tǒng)的靈活性和便捷性。

主要部件材料：

閥體：316L（VIM+VAR）

膜片：Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊：PFA

主要工作條件：

進(jìn)口壓力：真空至 145psig

工作溫度：0~120℃，0~200℃（高溫型）

流量系數(shù)：0.27/0.62

內(nèi)漏率：≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He

外漏率：≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He

內(nèi)表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm