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MGDS系列零配件

采用 316L(VIM+VAR) 材質(zhì) | 設(shè)計(jì)壓力 5000psig


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹

MGDS 配套專(zhuān)用墊片支撐組件、螺釘遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),滿(mǎn)足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、采用 316L(VIM+VAR) 材質(zhì)

2、設(shè)計(jì)壓力 5000psig

3、漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

4、規(guī)格 1.125C-SEAL

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氣體管閥件


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