產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹 |
|
| Xα-2H 氣體減壓器。雙級膜片式結構設計，硬密封結構，內部電解拋光處理；高壓輸入，低壓標準流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導體級高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。 | |
主要部件材料 |
|
| 閥體 | 316L/316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L / UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
工作條件 |
|
| 進口壓力 | 3500psig |
| 出口壓力 | 30,60,100,150psig |
| 原壓變動 | 0.025psig/100psig 0.075psig/100psig（B2H6/NF3） |
| 工作溫度 | -10 ～ 60℃ |
| 內漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數(shù) | 0.05 |
| 內表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
產(chǎn)品特點 |
|
| 適用于特氣柜 | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 內部件選項 | |
| 每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質譜泄漏測試和顆粒物檢測 | |
| 膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設計，密封性能極好 | |
相關下載
2024-11-21
關鍵詞：
氣體管閥件
獲取報價
我們將在一個工作日內與您聯(lián)系。請注意您的手機來電。
相關產(chǎn)品
中科艾爾
中科艾爾（北京）科技有限公司[原泰科愛爾（北京）科技有限公司]是專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)氣體管閥件的廠家。
關于我們
聯(lián)系我們
瀏覽移動端
微信公眾號